Materialanalysator MSA-600

Benchtopfür die LuftfahrtLaser

Beim Testen und Entwickeln von Mikrostrukturen wie MEMS-Bauelementen (Micro-Electro-Mechanical Systems) sind Topografiemessungen sowie die Visualisierung der Dynamik unerlässlich – ob zur Validierung von FE-Berechnungen, um Übersprecheffekte zu ermitteln oder um Oberflächenverformungen sichtbar zu machen. Der MSA-600 Micro System Analyzer als all-in-one optische Messstation charakterisiert sowohl die Topografie als auch in-plane und out-of-plane Bauteilbewegungen. Die Varianten MSA-600-M/V decken Frequenzbereiche bis zu 25 MHz ab - ideal geeignet für MEMS wie MEMS-Mikrofone und andere Mikrosysteme. Die Varianten MSA-600-X/U decken den hohen und sehr hohen Frequenzbereich bis 2,5 GHz ab - perfekt zur Validierung von HF-MEMS-Resonatoren, mikroakustischen Filtern wie SAW-Filter, BAW-Filter und mehr All-in-one optische Messstation für Mikrostrukturen Echtzeit-Response Schwingungsmessung ohne Post-Processing Varianten MSA-600-M/V mit bis zu 25 MHz Varianten MSA-600-X/U mit bis zu 2,5 GHz Unerreichte sub-pm Wegauflösung Schnelle Datenerfassung und Visualisierung der Schwingform Intuitive Bedienung Automatisierbar und integrierbar in Probe Stations Import- und Exportfunktionen zur Modellvalidierung Der MSA-600 Micro System Analyzer prüft Mikrosystemtechnik mit höchster Genauigkeit und lässt sich flexibel auf die Anforderungen und Prüfaufgaben moderner und zukünftiger Mikrostrukturen anpassen. Der Micro System Analyzer liefert präzise dynamische wie statische 3D Messdaten um Komponenten mit hoher Performance effizient zu entwickeln und zu produzieren. Der MSA-600 verkürzt den Designzyklus, erleichtert die Fehleranalyse und erhöht die Ausbeute in der Halbleiterfertigung.