Beschichtungs-Dickenmessgerät EddyCus® TF inline

Glaskontaktlosfür die Luftfahrt

Der EddyCus TF inline misst automatisiert und berührungsfrei Schichteigenschaften wie Metallschichtdicke oder den Flächenwiderstand auf diversen Substraten mit einer beliebigen Breite und Dicke direkt im Prozess. Typische Substrate sind Glas, Folie, Papier, Wafer, Kunststoffe oder Keramiken. Mittels permanenter Messung bzw. definierter Ermittlung von Messwerten zu vom Anlagenbetreiber definierten Zeitpunkten bzw. Triggersignalen ist eine Prozessüberwachung sowohl an Atmosphäre, als auch und im Vakuum möglich. Die Messung erfolgt in Echtzeit und kann mit der EddyCus TF Control Software live visualisiert, gespeichert oder analysiert werden. Alternativ können die Messwerte auch direkt an die Anlagensteuerung übermittelt und Prozessparameter angepasst werden. Vorteile Berührungslose Echtzeit-Messung Hohe Messgeschwindigkeit bis 1.000 Messungen / Sekunde Fixierte Sensor Installation oder traversierende Sensoren Installation möglich 1 - 99 Messspuren je System integrierbar Prozessüberwachung an Atmosphäre und im Vakuum Messung sehr nah am Rand in vielen Anwendungen möglich Hohe Langzeitstabilität durch temperaturkompensierte Messung Große Abstände zum Prüfgut möglich Charakterisierung auch von verdeckten leitfähigen Schichten oder verkapselten Substraten Zahlreiche software-integrierte Analyse- und Statistikfunktionen Einfache Einrichtung mittel Kalibriersoftware Verschleißfrei Motivation für den Einsatz von Inline Messtechnik Prozessoptimierung / Steuerung für schnellere und günstigere Abscheidung Effizienter Schichtstapel entsprechend der Funktionalität (z.B. hohe Transparenz bei niedrigem Widerstand, gute Emissivität, gute Barriereeigenschaften)