Übersicht Die Isolast® PureFab® FFKM‑Elastomere von Trelleborg sind ohne Fluorsurfactants formuliert und für Dichtungsanwendungen in der Halbleiterfertigung konzipiert. Sie minimieren potenzielle Kontaminationsquellen und behalten die chemische sowie thermische Beständigkeit der FFKM‑Werkstoffe bei.
Hauptvorteile
Fluorsurfactantfreie Formulierungen zur Verringerung des Kontaminationsrisikos in Wafer‑Fertigung und verwandten Umgebungen
Erhöhte Reinheit und geringe Extraktmengen zur Unterstützung strenger Kontaminationskontrollen
Konstante Dichtungsleistung bei den in der Halbleiterfertigung verwendeten Chemikalien und Temperaturbereichen
Typische Anwendung
Dichtungselemente für Halbleiterfertigungsgeräte, einschließlich Ventile, Pumpen und Schnittstellen von Werkzeugen
* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.
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