Équipement de galvanoplastie pour wafer A-52-ST-LAAS-SO

Présentation
Équipement de dépôt sur plaquettes, modèle A-52-ST-LAAS-SO, de type agitation élevée développé en collaboration avec LAAS (CNRS). La configuration conventionnelle A-52 a été adaptée pour réduire le risque d'éclaboussures de liquide à des vitesses d'agitation élevées, offrant une exploitation plus sûre pour les procédés exigeants de dépôt sur plaquettes. LAAS détient les données techniques et les résultats de recherche relatifs à l'utilisation de l'équipement.

Partenaire
[Partenaire technologique à l'étranger] LAAS - CNRS (Centre national de la recherche scientifique)
Fourni par le CNRS et l'Institut LAAS, tous deux membres du réseau Renatech France (février 2026). Le LAAS (Laboratory for Analysis, Systems and Architectures) est un institut de recherche du CNRS situé à Toulouse, rattaché aux divisions INSIS et INS2I.

Caractéristiques / spécifications techniques

• Modèle : A-52-ST-LAAS-SO
• Type : Équipement de dépôt sur plaquettes, type agitation élevée
• Développement : Collaboration avec LAAS (CNRS)
• Conception : Mesures améliorées pour prévenir les éclaboussures de liquide à haute vitesse d'agitation
• Configuration : Basée sur le modèle conventionnel A-52