PanoramicaApparecchiatura per rivestimento di wafer, modello A-52-ST-LAAS-SO, di tipo agitazione intensa sviluppata in collaborazione con LAAS (CNRS). La configurazione convenzionale A-52 è stata adattata per ridurre il rischio di fuoriuscite di liquido ad alte velocità di agitazione, consentendo un funzionamento più affidabile nei processi di rivestimento più esigenti. LAAS detiene i dati tecnici e i risultati di ricerca relativi all'impiego dell'apparecchiatura.
Partner[Partner tecnologico estero] LAAS - CNRS (French National Centre for Scientific Research)
Fornito dal CNRS e dall'istituto LAAS, entrambi membri della rete Renatech francese (febbraio 2026). LAAS (Laboratory for Analysis, Systems and Architectures) è un istituto di ricerca del CNRS con sede a Tolosa, affiliato a INSIS e INS2I.
Caratteristiche / specifiche tecniche- Modello: A-52-ST-LAAS-SO
- Tipo: Apparecchiatura per rivestimento di wafer, tipo agitazione intensa
- Sviluppo: Collaborazione con LAAS (CNRS)
- Progetto: Misure migliorate per prevenire fuoriuscite di liquido ad alte velocità di agitazione
- Configurazione: Basata sul modello convenzionale A-52