電動式アクチュエータ ABL3600

リニア航空機用サーボ モーター

設計特微 大きく明確な開き すべての斧の完全な前荷 二重線形モーター主導のXおよびＹ軸 高精度のための無接触線形エンコーダー ABL3600二重軸線、大きい開き、オープン フレーム、air-bearingの段階はスキャン顕微鏡検査およびマスクおよびウエファーの点検の独特な必要性に対応する。 設計および構造 高い剛さの空気軸受けおよび二重線形モーター主導の斧の組合せは例外的なパフォーマンス特性をX-Yオープン フレームの段階に与える。ABL3600は従来の機械忍耐オープン フレームの段階上の性能の主要な改善を表す。 すべてのAerotechのair-bearingシステムと同じように直線性、平坦、ピッチ、ロールおよびヨーイングを含む最高の幾何学的な特徴の段階を作り出すのに、専有製造技術が使用されている。ABL3600はAerotechの最新式の生産設備で製造され、従来の方法によって達成不可能である許容の強要と機械で造られる。