管理用ソフトウェア MeX

分析測定用切断

MeXは、デジタル画像処理機能を持つSEMを真の表面形状測定装置に変えるスタンドアローンソフトウェアパッケージです。このソフトウェアは、立体画像を用いて3D情報を自動的に取得し、高精度、堅牢、高密度の3Dデータセットを提供します。SEMの倍率に関係なく、マクロレベル、ミクロレベルの計測結果を得ることができます。MeXの実行には追加のハードウェアは必要なく、あらゆるSEMで使用することができます。また、独自のAutoCalibrationルーチンにより、キャリブレーションデータは自動的に精緻化されます。これにより、SEMの倍率に関わらず、トレーサブルな3D測定が可能になるのはMeXだけです。 高さ・粗さ測定 プロファイル測定は、試料の仮想的な切断を可能にします。ユーザーは光学画像上でパスを定義し、それに対応する3Dプロファイルを受け取ります。粗さと輪郭の測定は、4287/4288のような国際的なEN ISO規格に適合しています。プロファイル解析は、円や角度などのプリミティブのフィッティングも可能です。 体積解析 体積解析は、空洞や突出部の体積を計算します。測定領域は、光学画像上で直接定義されます。体積は、石鹸膜モデルの計算を通して決定されます。選択された領域の3D境界に対して、MeXは石鹸膜のように動作するカバーサーフェスを計算します。 面積の測定 面積解析では、表面上のSa、Sq、Szを求めることができます。粗さ、うねり、ユーザー定義の表面パッチのフラクタル次元のようなパラメータを実現します。