高真空レベル(mbar):5.0×10-7
無負荷真空度(mbar):5.0×10-7(室温)
真空キューブリーク率:1×10-9std/cc/sec
圧力調整範囲
複数レンジ(mbar/Torr):調整可能
温度均一性:±2
2 - サーマルシュラウド
内寸(mm)
(直円筒部) - ø 800×800 - ø 1000×1000 - ø 1500×1500
3 - 真空チャンバー
内寸法(mm)
(ストレート円筒部) - ø 1000×1000 - ø 1200×1200 - ø 1700×1700
4 - サーマルプレート寸法(mm) - 600×500 - 800×700 - 1300×1200
5 - 高真空レベル(mbar) - 5.0×10-7
6 - 無負荷真空レベル(mbar) - 5.0×10-7(室温)
7 - 圧力調整
複数レンジでの圧力調整(mbar/Torr) - 以下のレベルで安定した圧力操作が可能です。
1.0×10-2 , 1.0×10-3 , 1.0×10-4 , 1.0×10-5 , 1.0×10-6 (室温)
8 - 真空キューブ・リーク率 - ≤ 1×10-9 std/cc/sec
9 - 冷凍モード - A:サーマルシンク+コールドプレート
B:サーマルシンク+ヒーティングケージ
C:液体窒素サーマルシンク+加熱ケージ
(サーマルシンクとコールドプレートの表面)
11 - 温度均一性 - ±2
(ヒートシンクとコールドプレートの任意の位置で測定
温度均一性
真空環境下)
12 - 温度上昇/下降速度
昇温/降温速度 - -70℃~100℃ ≥ 3℃/min
100℃~-50℃≧3℃/min(メカニカルクーリングによる)
13 - 昇温/降温速度
降温速度 -オプション -150℃ ~ 125℃ ≥ 3℃/min
125℃ to -150℃ ≥ 3℃/分(加圧GN2再循環による)
14 -真空取得システム-機械ポンプ/ルーツポンプ/分子ポンプ/クライオポンプ
15 - 電源 - AC380V 3相5系統 50/60Hz
16 - 総合的な温湿度制御の課題に対応する技術的専門知識を有しています。
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