絶対圧力センサー

航空機用宇宙産業用

MEMSは圧力変換器をである高出力および高精度の圧力の測定にとって理想的基づかせていた、さまざまな打上げおよび航空機の塗布の慣習的な担保付きのひずみゲージのタイプ トランスデューサーを取り替えるためにそれ故にMEMSは圧力変換器を選ばれる基づかせていた。MEMS圧力細胞はtransductionの単位を形作るためにpiezo抵抗器がムギ石造り橋構成で植え付けられる上の感知要素としてマイクロ機械で造られたケイ素のダイヤフラムから成っている。このMEMSの信頼性そして質は絶対トランスデューサーをである有効なプロセス制御の、オンラインQC、組織的テストおよび評価基づかせていた。