プレート状ポリアミド Semitron™ CMP XL20 PAI

棒状航空

製品概要
Semitron™ CMP XL20 PAI は、独自の樹脂から開発されたポリアミドイミド（PAI）製の耐摩耗材料です。CMPの化学環境において標準PPSと比べて摩耗寿命が20倍以上であり、延長された耐摩耗性と高い機械的強度・剛性を兼ね備え、要求の厳しいCMP用途や極端なプロセス環境に適しています。

材料
ポリアミドイミド（PAI）

材料特性

• 摩耗寿命：CMP化学環境で標準PPSより>20×
• 高い機械的強度と剛性によりエッジ欠陥を低減し均一性を向上
• 化学薬品耐性およびクリープ耐性：攻撃的なCMP化学にも対応
• プロセス条件下での寸法安定性
• 高スループットや研磨性の高い環境での長寿命

入手可能な形状
棒材、板材

入手可能な色
緑

地域別の入手状況
製品の形状、色、入手可否は地域により異なる場合があります。

技術資料
技術データシート（PDF）あり。

技術仕様

• 製品名：Semitron™ CMP XL20
• ポリマー種：ポリアミドイミド（PAI）
• 標準在庫形状：棒材、板材
• 標準在庫色：緑
• 摩耗寿命：CMP化学環境で標準PPSより>20×
• 用途：要求の厳しいCMP用途および極端なプロセス環境