ウェハー用めっき設備 A-52-ST-LAAS-SO

概要
本装置はウェーハめっき装置（型式 A-52-ST-LAAS-SO）で、強撹拌タイプとして LAAS（CNRS）と共同開発されました。従来の A-52 構成を基に、高速撹拌時の液体飛散を抑える設計改良を行い、要求の厳しいめっき工程での安定稼働を目指しています。LAAS は本装置の運用に関する技術データや研究成果を保有しています。

パートナー
[海外技術パートナー] LAAS - CNRS (French National Centre for Scientific Research)
本製品は CNRS と LAAS 研究所から提供されています。両者はフランスの Renatech ネットワークのメンバーです（2026年2月時点）。LAAS（Laboratory for Analysis, Systems and Architectures）はトゥールーズに所在する CNRS の研究機関で、INSIS と INS2I に所属しています。

特長 / 技術仕様

• 型式：A-52-ST-LAAS-SO
• タイプ：強撹拌タイプのウェーハめっき装置
• 開発：LAAS（CNRS）との共同開発
• 設計上の配慮：高速撹拌時の液体飛散を防ぐための改良
• 構成：従来の A-52 モデルに基づく構成