Hitachi の渦電流厚み測定装置

... 100 MHzの周波数を利用するユニークな工業用渦電流測定装置で、平板試料の特性評価に特化しています。測定周波数を変化させることで、浸透深度を制御することができます。高周波での測定は、バルク材や薄膜の表面近傍の材料特性を評価するのに有効です。また、測定周波数が高くなるにつれて感度が高くなります。したがって、非常に低い導電性の材料や層の特性評価も可能です。さらに、この装置では、複数の周波数測定を利用して深さ方向のプロファイルを生成することができます。測定パラメータは、導電率および関連する特性です。 アプリケーション ...

測定範囲: 2 mm

... シリーズは、中型基板の非接触一点測定に特化した装置です。ベンチトップ型の装置で、セットアップ次第で、シート抵抗、金属厚、光学的透明度、電気的（非）等方性を正確に手動で測定することができます。最も一般的なアプリケーションは、薄い導電性の透明または非透明の層、ウェハー、金属シートの測定です。 ハイライト 非接触、リアルタイム、堅牢 高精度で再現性の高い測定 高品質な測定を実現します。 均一な接触品質 パッシベーション ...

測定範囲: 2 mm

... すると、自動的にサンプル全体の特性分布を測定・表示します。測定設定により、1分以下の高速測定や、1サンプルあたり50,000点以上の高い空間測定分解能を簡単かつ柔軟に選択することができます。結果として得られるマッピングは、透明層や非透明層、ウェハやメタルシートの均質性や品質を正しく把握することができます。ベンチトップ型の装置では、セットアップ次第で、シート抵抗、金属の厚さ、光学的透明度を正確にイメージングすることができます。 ハイライト 非接触 高速かつ正確な測定 導電性薄膜の高解像度マッピング 最大 ...

... 2530シリーズは、最大300 x 300 mm² (12 x 12インチ)までの大型サンプルのシート抵抗を非接触で自動測定します。試料を手動でセットすると、自動的に測定が行われ、試料エリア全体のシート抵抗の正確なマッピングが表示されます。測定設定は、1分以下の高速測定と10万点以上の高空間測定分解能を簡単かつ柔軟に選択することができます。 ハイライト 非接触 高速かつ高精度な測定 導電性薄膜の高分解能マッピング 最大300 ...

測定範囲: 2 mm - 10 mm

... mm (20 x 20 inch) までのエリアをサンプリングできる高解像度非接触イメージング装置シリーズです。このベンチトップ型装置は、通常XとYのピッチが1mm（40mil）の様々な測定ポイントで自動的に測定を行い、正確なマッピングを生成します。このシステムは、1秒間に数百の測定値をオンザフライで取得し、1試料あたり最大25万点の測定点を含む高解像度画像を生成します。このベンチトップ型装置では、金属の厚み、シート抵抗、電気異方性などの精密なイメージングを行うことができます。得られた特性画像は、層の ...

測定範囲: 2 mm

... インラインシリーズは、金属層の厚み、シート抵抗、放射率、残留水分量、グラム数などの層特性を、様々な基板上で非接触に測定します。対象となる基板は、ガラス、ホイル、紙、ウェハ、プラスチック、セラミックです。モニタリングは常時測定、またはトリガーイベントによって行われ、高速で移動するコーティングプロセスで均等な結果を得ることができます。モニタリングソリューションは、大気中または真空中のいずれでも実施可能です。渦電流技術を使用したプロセスでは、高いサンプルレートが得られます。測定結果は、お客様のソフトウェアを ...

... させることができるのです。 EddyCus TFインラインシリーズは、金属層の厚みやシート抵抗などの層特性を、様々な基板上で非接触に測定します。 代表的な基板は、ガラス、フォイル、紙、ウェハ、プラスチック、セラミックなどです。測定は恒久的な測定、またはトリガーイベントによって行われ、高速で移動するコーティングプロセスで等距離の結果を得たり、小さな試料の特定の位置で測定したりすることができます。大気中や真空中のモニタリングも可能です。測定値は高いサンプルレートで取得され、プロセス制御システムや顧客のソフトウェア ...