Software de gestão MeX

de análisede mediçãode corte

MeX é um pacote de software autónomo que transforma qualquer SEM com imagem digital num verdadeiro dispositivo de metrologia de superfície. Utilizando imagens estereoscópicas, o software recupera automaticamente informação 3D e apresenta um conjunto de dados 3D altamente preciso, robusto e denso, que é depois utilizado para realizar exames metrológicos rastreáveis. Os resultados são obtidos independentemente da ampliação do SEM, fornecendo metrologia a níveis macro e micro. Não é necessário hardware adicional para executar MeX e este pode ser utilizado com qualquer SEM. Devido à rotina única de AutoCalibração, os dados de calibração são automaticamente refinados. Assim, apenas o MeX permite medições 3D rastreáveis a qualquer ampliação na MEV. Medição de Altura e Rugosidade A medição do perfil permite o corte virtual do espécime. O utilizador define um caminho sobre a imagem óptica e recebe o perfil 3D correspondente. As medições de rugosidade e de contorno estão em conformidade com as normas internacionais EN ISO reconhecidas, tais como a 4287/4288. A análise do perfil também permite a colocação de primitivos, tais como círculos, ângulos ou outros. Análise de volume A análise de volume calcula o volume de vazios e protuberâncias. A área de medição é definida directamente sobre a imagem óptica. O volume é determinado ao longo do cálculo de um modelo de película de sabão. Para o limite 3D da área seleccionada, o MeX calcula uma superfície de cobertura que se comporta como uma película de sabão. Medições de área A análise da área fornece a determinação de Sa, Sq e Sz sobre uma superfície. Parâmetros como rugosidade, ondulação e dimensão fractal de manchas de superfície definidas pelo utilizador são alcançados.