Lavadora térmica EZKT

a vácuo

Sistema de limpeza por vácuo térmico TESTEQ para componentes de semicondutores de alta precisão Remoção de contaminação líder na indústria para litografia, ótica e processamento de bolachas Este equipamento adopta uma estrutura de vedação inclinada inovadora (conceção patenteada - vácuo térmico/litografia/UHV). Através da placa de cobertura adaptável à gravidade e da tecnologia de bloqueio do anel de vedação de anel duplo, pode manter um nível de vácuo estável (≤10-⁶ Pa), resolvendo o problema de eficiência de limpeza reduzida causada por falha de vedação em equipamentos tradicionais. Ele integra um sistema de pulverização de fluido duplo (hidróxido de sódio + água desionizada), suportando a limpeza não destrutiva em um ambiente de vácuo de alta temperatura (350 ℃), evitando a deformação por estresse térmico. É adequado para a manutenção de componentes de alta precisão, como placas de máscara, grupos de lentes e componentes da bomba de vácuo de máquinas de litografia, melhorando significativamente o rendimento do chip e a vida útil do equipamento.