Visão geralEquipamento de revestimento de wafers, modelo A-52-ST-LAAS-SO, tipo agitação intensa, desenvolvido em colaboração com LAAS (CNRS). A configuração convencional A-52 foi adaptada para reduzir o risco de derramamento de líquido em altas velocidades de agitação, permitindo operação mais fiável em processos de revestimento exigentes. LAAS detém dados técnicos e resultados de investigação relativos à utilização do equipamento.
Parceiro[Parceiro tecnológico estrangeiro] LAAS - CNRS (French National Centre for Scientific Research)
Fornecido pelo CNRS e pelo Instituto LAAS, ambos membros da rede Renatech da França (fevereiro de 2026). LAAS (Laboratory for Analysis, Systems and Architectures) é um instituto de investigação do CNRS localizado em Toulouse, afiliado a INSIS e INS2I.
Características / especificações técnicas- Modelo: A-52-ST-LAAS-SO
- Tipo: Equipamento de revestimento de wafers, tipo agitação intensa
- Desenvolvimento: Colaboração com LAAS (CNRS)
- Projeto: Medidas melhoradas para prevenir derramamentos de líquido em altas velocidades de agitação
- Configuração: Baseada no modelo convencional A-52