Hochvakuum-Niveau (mbar):5,0×10-7
Vakuum bei Nulllast (mbar):5,0×10-7(Raumtemperatur)
Vakuum-Würfel-Leckrate:1×10-9std/cc/sec
Druckregelung in
Mehrere Bereiche (mbar/Torr):Einstellbar
Temperaturgleichmäßigkeit:±2℃
2 - Thermischer Schutzmantel
Innere Abmessungen (mm)
(gerader zylindrischer Querschnitt) - ø 800×800 - ø 1000×1000 - ø 1500×1500
3 - Vakuumkammer
Innenabmessungen (mm)
(gerader zylindrischer Querschnitt) - ø 1000×1000 - ø 1200×1200 - ø 1700×1700
4 - Abmessungen der Wärmeplatte (mm) - 600×500 - 800×700 - 1300×1200
5 - Hochvakuum-Niveau (mbar) - 5,0×10-7
6 - Vakuumniveau bei Nulllast (mbar) - 5,0×10-7(Raumtemperatur)
7 - Druckregelung
in mehreren Bereichen (mbar/Torr) - Stabiler Druckbetrieb unter den folgenden Werten
1.0×10-2 , 1.0×10-3 , 1.0×10-4 , 1.0×10-5 , 1.0×10-6 (Raumtemperatur)
8 - Vakuumwürfel-Leckrate - ≤ 1×10-9 std/cc/sec
9 - Kühlungsmodus - A:Wärmesenke + Kühlplatte
B:Wärmesenke+Heizkäfig
C: Flüssigstickstoff-Wärmesenke + Heizkäfig
(Oberflächen von Wärmesenke und Kühlplatte)
11 - Temperaturgleichmäßigkeit - ±2℃
(Gemessen an einem beliebigen Punkt der Wärmesenke
und Kühlplatte unter stabilen Bedingungen
in einer Vakuumumgebung)
12 - Temperaturanstiegs-/
Fallende Geschwindigkeit - -70℃ bis 100℃ ≥ 3℃/min
100℃ bis -50℃ ≥ 3℃/min (bei mechainkalischer Kühlung)
13 - Temperaturanstiegs-/
Fallende Geschwindigkeit - optional - -150℃ bis 125℃ ≥ 3℃/min
125℃ bis -150℃ ≥ 3℃/min (bei Druckbeaufschlagung von GN2)
14 - Vakuumerfassungssystem - Mechanische Pumpe / Wälzkolbenpumpe / Molekularpumpe / Kryopumpe
15 - Stromversorgung - AC380V 3phasig 5 Leitungen 50/60Hz
16 - Wir verfügen über das technische Know-how, um die Herausforderungen der integrierten Temperatur- und Feuchteregelung zu meistern
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